大宗特種氣體供氣系統(tǒng)的應(yīng)用和介紹

大宗特種氣體供氣系統(tǒng)介紹（集成電路、太陽能電池、LED、液晶顯示）

大宗特種氣體供氣系統(tǒng)主要針對(duì)大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸（1英寸=25.4毫米） 超大規(guī)模集成電路廠（氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太陽能電池生產(chǎn)線（氣體種類包括NH3），發(fā)光二極管的磊晶工序線（氣體種類包括NH3）、5代以上液晶顯示器工廠（氣體種類包括4、3、NF3）、光纖（氣體種類包括SiCl4）、硅材料外延生產(chǎn)線（氣體種類包括HCL）等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大，采用先進(jìn)的工藝制程設(shè)備，用氣需求量大，對(duì)穩(wěn)定和不間斷供應(yīng)、純度控制和安,全生產(chǎn)提出嚴(yán)格的要求。

上述工廠的大宗普通氣體多采用現(xiàn)場(chǎng)制氣(On-site)或工業(yè)園區(qū)管道(Pipeline)集中供應(yīng)方式，一個(gè)年產(chǎn)5萬片的8英寸 超大規(guī)模集成電路廠高純氮?dú)獾男枨蟪^5,000Nm3/h，發(fā)光二極管的磊晶工序線和硅外延生產(chǎn)線的氫氣需求超過100Nm3/h。

除了普通鋼瓶（50L及以下）包裝的特種氣體外，還有多種類的特種氣體都普遍采用大包裝容器，由此它們被稱為大宗特氣，包括Y-鋼瓶（450L），T-鋼瓶（980L），集裝格（940L），ISO罐（22,500L），大灌車（13,400L）等。

大宗特種氣體供氣系統(tǒng)（BSGS）采用全自動(dòng)PLC控制系統(tǒng)，彩色觸摸屏；氣體面板采用氣動(dòng)閥門和壓力傳感器，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)切換，自動(dòng)氮?dú)獯祾?，自?dòng)真空輔助放空；多重安,全防護(hù)措施，泄漏偵測(cè)，遠(yuǎn)程緊急切斷；專用氮?dú)獯祾咂鹪吹鹊取Ｌ胤N氣體采用單獨(dú)氣源，多用點(diǎn)采用VMB或VMP分路供應(yīng)，VMB或VMP采用支路氣動(dòng)閥，氮?dú)獯祾?，真空輔助排空等。由于BSGS氣源總量大，多采用單獨(dú)的氣體房，單獨(dú)的抽風(fēng)系統(tǒng)。

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