特種氣體控制流程系統(tǒng)展示圖
電子特氣管道系統(tǒng)是指半導(dǎo)體、集成電路、平板顯示、新能源、光纖、微電子等制程工藝中用到的特種制程工藝氣體的供氣系統(tǒng)。
系統(tǒng)一般由氣瓶房供氣端和潔凈室用氣端組成，氣瓶房所用到的設(shè)備有特氣柜，特氣柜，大宗氣罐和尾氣廢氣處理設(shè)備組成，潔凈室用氣端一般由VMB閥門(mén)分配箱，VMP閥門(mén)盤(pán)組成，主要作用是分配氣體到工藝設(shè)備。

電子特氣管道系統(tǒng)都需要安裝GDS氣體探測(cè)報(bào)警系統(tǒng)，GDS和供氣系統(tǒng)組成聯(lián)動(dòng)作用。
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