PECVD設(shè)備的scrubber的作用和分類以及安裝位置

PECVD設(shè)備接scrubber是干什么用的？scrubber 一般接在什么位置？下面由沃飛科技來(lái)為大家簡(jiǎn)單的講解一下CVD設(shè)備的scrubber的作用和分類以及安裝位置。
Scrubber基本上是專為PECVD設(shè)備的尾氣處理而設(shè)計(jì)的一種設(shè)備，PECVD尾氣一般含有大量Particles以及棘手的未反應(yīng)易爆易燃或有毒氣體排出，Scrubber為降低后端處理的困擾與安全而專門(mén)設(shè)計(jì)的設(shè)備。local scrubber專屬PECVD單臺(tái)或多臺(tái)使用,可分為燃燒式, 加熱式, 等離子式, 搭配水洗!

Scrubber設(shè)備的分類

scrubber根據(jù)不同的工藝，產(chǎn)生不同的尾氣；選用不同的處理方式的！

scrubber設(shè)備有電加熱式、燃?xì)馐?、吸附式、還有一種是用plasma式，其中吸附式要更換吸附桶，使用起來(lái)價(jià)格比較高，但維護(hù)起來(lái)是最方便的。

一般選用可用加熱水洗式，水洗加熱再水洗式。SiH4在燃燒后會(huì)反應(yīng)成SIO2。NH3與水反應(yīng)會(huì)產(chǎn)生結(jié)晶物。NF3, WF3,SIF4,C2F6的離子鍵會(huì)在燃燒后打開(kāi)，再跟水反應(yīng)成HF。
Scrubber設(shè)備的安裝位置

Scrubber設(shè)備一般安裝在設(shè)備真空泵pump和廢氣排出總管之間。有毒有害的廢氣經(jīng)過(guò)真空泵pump抽壓抽到Scrubber設(shè)備經(jīng)過(guò)處理后然后在排到廠務(wù)。
以上就是沃飛科技為大家簡(jiǎn)單講解的關(guān)于CVD設(shè)備的scrubber的作用和分類以及安裝位置，希望能給大家提供參考。

深圳沃飛科技有限公司是一家專業(yè)從事氣體應(yīng)用系統(tǒng)工程：電子特氣系統(tǒng)、實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)、工業(yè)集中供氣系統(tǒng)、大宗氣體（液體）系統(tǒng)、高純氣體及特種工藝氣體二次配管系統(tǒng)、化學(xué)品輸送系統(tǒng)、純水系統(tǒng)提供從技術(shù)咨詢、整體規(guī)劃、系統(tǒng)設(shè)計(jì)、選定設(shè)備、預(yù)制組件、項(xiàng)目現(xiàn)場(chǎng)安裝建設(shè)、整體系統(tǒng)檢測(cè)等全套工程技術(shù)服務(wù)和配套產(chǎn)品于一體的高新技術(shù)企業(yè)； 榮獲“國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)”認(rèn)定并取得證書(shū)。

工程項(xiàng)目覆蓋半導(dǎo)體、集成電路、光電、新能源、微電子、生物醫(yī)藥、科研所、標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)等高科技行業(yè)；為客戶提供高純介質(zhì)輸送系統(tǒng)全套解決方案與全國(guó)各大院?？蒲兴献餮邪l(fā)的多個(gè)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室項(xiàng)目，并取得了可喜的成績(jī)。同時(shí)為眾多高新技術(shù)企業(yè)和上市企業(yè)提供了安全優(yōu)質(zhì)的氣體應(yīng)用系統(tǒng)服務(wù)，保障其生產(chǎn)和設(shè)備的可靠運(yùn)行！

同時(shí)公司擁有AFK/奧飛克、Afklok 、沃飛 等行業(yè)知名品牌，自主研發(fā)生產(chǎn)的氣體混配器、特氣柜、氣體匯流排、VMB閥門(mén)箱、氣體減壓器、管件接頭、閥門(mén)儀表等產(chǎn)品暢銷(xiāo)于中國(guó)大陸和全球26個(gè)地區(qū)和國(guó)家，并獲得了多項(xiàng)國(guó)家發(fā)明專利，為了追求更好品質(zhì)并給客戶提供更高更安全的技術(shù)，嚴(yán)格按照ISO9001標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行各項(xiàng)管理。