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VMB氣體閥門分配箱的應(yīng)用與功能設(shè)計

2021-01-07 10:49:47    責(zé)任編輯: VMB氣體閥門分配箱生產(chǎn)制造廠商     0

VMB氣體閥門分配箱,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、電子行業(yè)、醫(yī)療等生產(chǎn)領(lǐng)域中,以客戶實際上的需求來設(shè)計2、3、4、5或其他點數(shù)的數(shù)目,可同時數(shù)臺機臺供應(yīng)氣體,亦可加調(diào)壓閥做二次調(diào)壓讓壓力更加的穩(wěn)定,設(shè)定上下警報訊號做更有效的供應(yīng)控制。


VMB氣體閥門分配箱的應(yīng)用:

在電子特氣的輸送中,VMB的引入是一對多,點對點分支的核心單元。不僅保證了多點用氣,而且確保了用氣的安全。

電子氣體,特別是危險的特殊氣體,如磷化氫、硼烷、硅烷、硫化氫、硫化氫、易燃易爆的、有毒氣體等,在半導(dǎo)體生產(chǎn)中至關(guān)重要。電子特氣是廣泛應(yīng)用于電子工業(yè)生產(chǎn)過程中的工業(yè)氣體,常用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝,是至關(guān)重要的原材料。這種材料被稱為電子工業(yè)的“血液”,電子特氣的質(zhì)量稍有差池,輕則導(dǎo)致半導(dǎo)體產(chǎn)品質(zhì)量不過關(guān),重則擴散污染整sss條產(chǎn)品線,甚至報廢,造成巨額損失。因此,電子特氣在電子工業(yè)中的作用舉足輕重,是名副其實的“電子工業(yè)的血液”。



VMB氣體閥門分配箱功能設(shè)計:

VMB氣體閥門分配箱有手動、半自動和全自動三種類型,它們之間的區(qū)別在于是否通過PLC面板控制和系統(tǒng)功能的多少,用戶可根據(jù)使用氣體性質(zhì)求和工藝需求進行選擇和配置。

對于特殊氣體,VMB應(yīng)設(shè)計有進氣管隔離閥和壓力指示裝置;氣路應(yīng)配備一個獨立的壓力控制調(diào)節(jié)閥、過濾器、過流開關(guān);氣體分支應(yīng)設(shè)有獨立的出口隔離閥;管道上應(yīng)配備單獨的吹掃氣設(shè)備、輔助真空設(shè)備等。

對于惰性氣體,VMB應(yīng)提供進氣管路隔離閥和壓力指示裝置;氣路應(yīng)配備獨立的壓力控制調(diào)節(jié)閥、過濾器;氣體分支應(yīng)配備獨立的出口隔離閥。

以上,便是關(guān)于VMB氣體閥門分配箱的設(shè)計和應(yīng)用的簡單介紹,感謝您的閱讀!


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