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特氣系統(tǒng)之吹掃和排氣介紹

2020-09-18 11:03:23        0

氣體應(yīng)用現(xiàn)狀

在飛速發(fā)展的現(xiàn)代工業(yè)中,氣體已經(jīng)是必不可少的耗材,特別是,特氣系統(tǒng)的廣泛應(yīng)用。一方面因為生產(chǎn)工藝的需求,如在半導(dǎo)體行業(yè)中的刻蝕、涂層,氣體經(jīng)過真空電解能和介質(zhì)發(fā)生反應(yīng)達(dá)到行業(yè)的生產(chǎn)需求;另一方面作為輔助氣體、吹掃和動力源等也是用途廣泛。



氮氣吹掃和排氣的作用

在使用具有危險性質(zhì)的氣體,也就是自燃性、可燃性、毒性和腐蝕性特種氣體時,不管是管道有雜質(zhì)殘留、還是氣體純度要求等,都需要進(jìn)行工藝管線的吹掃。

現(xiàn)代特氣供氣系統(tǒng)中,無論是為了大大提高特氣系統(tǒng)安全性,還是為了保證每次使用氣體的氣體純度,氮氣吹掃和排氣功能已經(jīng)成為整套特氣供氣系統(tǒng)的標(biāo)配。

下面,本文將嘗試從吹掃和排氣的專業(yè)角度對整套供氣系統(tǒng)的架設(shè)提出建設(shè)性意見。



特氣系統(tǒng)吹掃氮氣應(yīng)用

1、在特氣輸送系統(tǒng)的設(shè)計中,吹掃氮氣模塊設(shè)計已經(jīng)成為標(biāo)準(zhǔn)化配置,一般我們常用的吹掃氣是氮氣,當(dāng)然,有些用戶也可以根據(jù)自身廠務(wù)的情況,使用氬氣等惰性氣體作為吹掃氣體也是可以的。

2、惰性氣體一般使用的是自吹掃系統(tǒng)。

3、對于易燃易爆性、毒性和腐蝕性特氣,需要外接氮氣吹掃。

4、對于常用的氫氣、乙炔等氣體,這邊也建議用外接氮氣吹掃,一方面可以保證管內(nèi)的潔凈度,另一方面也能大大提升使用安全。

5、為了避免給管道和閥門造成二次污染,吹掃氮氣的氣體純度建議應(yīng)保持在5級以上。


特氣系統(tǒng)吹掃氮氣使用注意事項

1、吹掃氮氣的管線必須設(shè)置止回閥;

2、不相容性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氮氣不得共用同一氮氣源;

3、自燃性、可燃性、毒性、腐蝕性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氮氣應(yīng)有獨立的氮氣源連接,不得與公用的氮氣或工藝氮氣系統(tǒng)相連。



以上,就是關(guān)于特氣系統(tǒng)中氮氣吹掃在整個提高整套特氣供氣系統(tǒng)安全性上和保證氣體純度上的作用,以及從吹掃和排氣的專業(yè)角度提出的一些建議和使用注意事項介紹。希望以上內(nèi)容能給您帶來幫助,感謝您的閱讀!


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