因使用環(huán)境、行業(yè)領(lǐng)域等的不同，高純工藝系統(tǒng)會(huì)以不同的形式呈現(xiàn)，在泛半導(dǎo)體行業(yè)中，常用的高純工藝系統(tǒng)便是超高純電子特氣系統(tǒng)（以下簡(jiǎn)稱特氣系統(tǒng)）。特氣系統(tǒng)被泛半導(dǎo)體行業(yè)廣泛應(yīng)用的原因？半導(dǎo)體行業(yè)的不斷發(fā)展，對(duì)高純特種氣體的需求越來(lái)越大、要求越來(lái)越嚴(yán)格。在生產(chǎn)中，高純特種氣體直接影響產(chǎn)品的好壞、生產(chǎn)率和良品率。但特種氣體大都具有有毒、易燃易爆、高腐蝕性、高氧化性等性質(zhì)，如H2Se、SIH4、CL2、NF3等，因此如何安全、穩(wěn)定、可靠地貯存和輸送高純特種氣體呢？特氣系統(tǒng)工程應(yīng)運(yùn)而生。特氣系統(tǒng)的設(shè)計(jì)理念——安全！在特氣系統(tǒng)設(shè)計(jì)之初，“安全”的設(shè)計(jì)理念便已貫穿其中，在特氣系統(tǒng)工程的設(shè)計(jì)安裝、操作和維護(hù)都有相應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程。比如：特氣系統(tǒng)的相關(guān)操作人員需要經(jīng)過(guò)專業(yè)的特氣設(shè)備操作維護(hù)運(yùn)行及異常處理的專業(yè)培訓(xùn)后方可上崗作業(yè)。因?yàn)樘貧馐鹿实陌l(fā)生是非常危險(xiǎn)和可怕的。特氣系統(tǒng)的組成部分？特氣系統(tǒng)是通過(guò)設(shè)備、氣體管道和閥門部件從供氣源為終端的使用設(shè)備，安全穩(wěn)定的輸送高純氣體的高純氣體工藝系統(tǒng)。在特氣系統(tǒng)工程中最具代表性的設(shè)備便是沃飛特氣柜了，沃飛特氣柜的負(fù)壓系統(tǒng)、氣體偵測(cè)報(bào)警系統(tǒng)、自動(dòng)吹掃、自動(dòng)切換以及緊急情況下的自動(dòng)安全切斷等功能都在很大程度上保障了氣體的純度、使用安全和穩(wěn)定供氣。以上，就是常用于泛半導(dǎo)體行業(yè)中的超高純電子特氣系統(tǒng)工程的一些設(shè)計(jì)理念和系統(tǒng)組成上的簡(jiǎn)單介紹，感謝您的閱讀！